Organic film vapor deposition method and a scintillator panel

   
   

Comprising a first step of supporting a substrate formed with a scintillator on at least three protrusions of a target-support element disposed on a vapor deposition table so as to keep a distance from said vapor deposition table; a second step of introducing said vapor deposition table having said substrate supported by said target-support element into a vapor deposition chamber of a CVD apparatus; and a third step of depositing an organic film by CVD method onto all surfaces of said substrate, provided with said scintillator, introduced into said vapor deposition chamber.

Состоять из первыйа шаг поддерживать субстрат сформировал с scintillator на по крайней мере 3 выступаниях цел-podderjivaet элемент размещанный на таблице низложения пара для того чтобы держать расстояние от сказанной таблицы низложения пара; второй шаг вводить сказал таблица низложения пар говоря субстрат поддержанный сказанным цел-podderjivaet элемент в камеру низложения пара прибора cvd; и третий шаг депозировать органическую пленку методом CVD на все поверхности сказанного субстрата, при условии при сказанное scintillator, введенное в сказанную камеру низложения пара.

 
Web www.patentalert.com

< Adjustable exhaust system for internal combustion engine

< Apparatus for holding an object to be processed

> Operation stop control method of internal combustion engine for vehicle

> Method for controlling transitions between operating modes of an engine for rapid heating of an emission control device

~ 00127