An exposure apparatus for drawing a pattern on a wafer using an electron
beam includes a plurality of driving elements for drawing the pattern on
the wafer while scanning the wafer with a charged-particle beam, a
plurality of driving data memories for storing a plurality of time-series
driving data strings for driving the plurality of driving elements, each
driving data memory sequentially supplying data forming the time-series
driving data string from the first data to a corresponding driving element
in accordance with an operation command, and a clock pattern memory for
storing a plurality of operation command data strings obtained by aligning
operation commands and non-operation commands in time-series, the
operation commands and the non-operation commands constituting each
operation command data string being sequentially supplied from the first
operation command data to a corresponding driving data memory in
accordance with a drawing sync clock supplied to the clock pattern memory.
Um instrumento de exposição para extrair um teste padrão em um wafer que usa um feixe de elétron inclui um plurality de dirigir elementos para extrair o teste padrão no wafer ao fazer a varredura do wafer com um feixe da carreg-partícula, um plurality de dirigir memórias dos dados para armazenar um plurality do time-series que dirige cordas dos dados para dirigir o plurality de dirigir elementos, cada memória dirigindo dos dados que fornecem sequencialmente os dados que dão forma ao time-series que dirige a corda dos dados dos primeiros dados a um elemento dirigindo correspondente de acordo com um comando da operação, e uma memória do teste padrão do pulso de disparo para armazenar um plurality das cordas dos dados do comando da operação obtidas alinhando comandos da operação e comandos do non-operation nos time-series, a operação comanda e o non-operation comanda constituindo cada dados do comando da operação amarre sequencialmente ser fornecido dos primeiros dados do comando da operação a uma memória dirigindo correspondente dos dados de acordo com um pulso de disparo extraindo da sincronização fornecido à memória do teste padrão do pulso de disparo.
