Although there are several inventions disclosed herein, the present
application is directed to a reactor for electrochemically processing a
microelectronic workpiece. The reactor comprises a movable electrode
assembly that is disposed for movement along a motion path. The motion
path includes at least a portion thereof over which the electrode assembly
is positioned for processing at least one surface of the microelectronic
workpiece. A cleaning electrode is located along the motion path of the
movable electrode assembly. In one embodiment, a programmable controller
is connected to direct the movable electrode assembly to move to the
cleaning electrode during a cleaning cycle. At that time, the programmable
controller connects the movable electrode assembly as an anode and the
cleaning electrode as a cathode for cleaning of the movable electrode
assembly. The cleaning electrode may be disposed along a position of the
motion path that is beyond the range of motion required to process the
microelectronic workpiece so that the programmable controller may be
programmed to conduct a cleaning cycle while a microelectronic workpiece
is present in the reactor for processing.
Obgleich es einige Erfindungen gibt, die hierin freigegeben werden, wird die anwesende Anwendung auf einen Reaktor für ein Mikroelektronisches Werkstück elektrochemisch verarbeiten verwiesen. Der Reaktor enthält eine bewegliche Elektrode, die für Bewegung entlang einem Bewegung Weg abgeschaffen wird. Der Bewegung Weg schließt mindestens einen Überschuß des Teils davon ein, den die Elektrode für die Verarbeitung mindestens von von einer Oberfläche des Mikroelektronischen Werkstückes in Position gebracht wird. Eine Reinigung Elektrode wird an dem Bewegung Weg der beweglichen Elektrode errichtet. In einer Verkörperung wird ein programmierbarer Steuerpult angeschlossen, um die bewegliche Elektrode zu verweisen, auf die Reinigung Elektrode während eines Reinigung Zyklus zu bewegen. Zu dieser Zeit schließt der programmierbare Steuerpult die bewegliche Elektrode als Anode und die Reinigung Elektrode als Kathode für Reinigung der beweglichen Elektrode an. Die Reinigung Elektrode kann entlang einer Position des Bewegung Weges abgeschaffen werden, der über der Strecke der Bewegung hinaus erfordert, um das Mikroelektronische Werkstück zu verarbeiten ist, damit der programmierbare Steuerpult programmiert werden kann, einen Reinigung Zyklus zu leiten, während ein Mikroelektronisches Werkstück im Reaktor für die Verarbeitung anwesend ist.
