Isolation mounts for use with vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatuses

   
   

A reference frame provided in a vacuum chamber is supported by support pillars extending through and isolated from the vacuum chamber walls to isolate the reference frame from vibrations in the vacuum chamber. The gap between the support pillar and the vacuum chamber wall may be sealed by a low-stiffness seal. The low stiffness seal may be a three part seal allowing relative motion in six-degrees of freedom.

Een verwijzingskader dat in een vacuümkamer wordt verstrekt wordt gesteund door steunpijlers door zich uitbreidt en van de vacuümkamermuren geïsoleerd om het verwijzingskader van trillingen in de vacuümkamer te isoleren. Het hiaat tussen de steunpijler en de vacuümkamermuur kan door een laag-stijfheidsverbinding worden verzegeld. De lage stijfheidsverbinding kan een drie deelverbinding zijn toestaand relatieve motie in zes-graden van vrijheid.

 
Web www.patentalert.com

< Solid-state image pickup device

< Semiconductor wafer and semiconductor device comprising gettering layer

> Method of manufacturing a waveguide optical semiconductor device

> Display unit and method of fabricating the same

~ 00124