There is disclosed an analytical method capable of performing an analysis
in electron microscopy by directing an electron beam at set analysis
points wherein a reference image is displayed on a monitor and a user
selects plural analysis points within the image. The specimen stage is
returned to the approximate position where the reference image was
obtained and a new image is obtained. At this time, the newly obtained
image does not completely agree in position with the reference image due
to accuracy of movement of the stage. The two images are supplied to a
deviation amount calculator, which, in turn, compares the images and finds
the amount of deviation of the newly obtained image from the reference
image.
Αποκαλύπτεται μια αναλυτική μέθοδος ικανή μια ανάλυση στη μικροσκόπηση ηλεκτρονίων με την κατεύθυνση μιας δέσμης ηλεκτρονίων στα καθορισμένα σημεία ανάλυσης όπου μια εικόνα αναφοράς επιδεικνύεται σε ένα όργανο ελέγχου και ένας χρήστης επιλέγει τα σημεία ανάλυσης πληθυντικού μέσα στην εικόνα. Το στάδιο δειγμάτων επιστρέφεται στην κατά προσέγγιση θέση όπου η εικόνα αναφοράς λήφθηκε και μια νέα εικόνα λαμβάνεται. Αυτή τη στιγμή, η πρόσφατα αποκτηθείσα εικόνα δεν συμφωνεί εντελώς στη θέση με την εικόνα αναφοράς λόγω στην ακρίβεια της μετακίνησης του σταδίου. Οι δύο εικόνες παρέχονται σε έναν υπολογιστή ποσού απόκλισης, ο οποίος, στη συνέχεια, συγκρίνει τις εικόνες και βρίσκει το ποσό απόκλισης της πρόσφατα αποκτηθείσας εικόνας από την εικόνα αναφοράς.
