An optical apparatus for total internal reflection spectroscopy comprises:
a transparent body having an internally reflective surface; at least one
source of electromagnetic radiation for providing at least one beam of
collimated electromagnetic radiation; optical scanning means for directing
the beam or beams to the transparent body so that the radiation is
internally reflected at the reflective surface, and sequentially or
continuously scanning the incident angle of the radiation over an angular
range; at least one detector for detecting electromagnetic radiation
exiting the transparent body, and means for counteracting variation of the
irradiance in the illuminated area of the surface during the angular scan,
or the effect of such variation on the reflected beam or beams. An optical
apparatus for examining thin layer structures on a surface for differences
in respect of optical thickness and/or refractive index, and a method for
total internal reflection spectroscopy are also disclosed.
Een optisch apparaat voor de totale interne bezinningsspectroscopie bestaat uit: een transparant lichaam dat een intern weerspiegelende oppervlakte heeft; minstens één bron van elektromagnetische straling voor het verstrekken van minstens één straal van gecollimeerde elektromagnetische straling; optisch aftastenmiddelen om de straal of de stralen aan het transparante lichaam te leiden zodat de straling intern wordt weerspiegeld aan de weerspiegelende oppervlakte, en opeenvolgend of onophoudelijk het aftasten van de inherente hoek van de straling over een hoekige waaier; minstens één detector voor het ontdekken van elektromagnetische straling die het transparante lichaam weggaat, en middelen om variatie van irradiance in het verlichte gebied van de oppervlakte tijdens het hoekige aftasten tegen te gaan, of het effect van dergelijke variatie op de weerspiegelde straal of de stralen. Een optisch apparaat om structuren thin.layer op een oppervlakte voor verschillen met betrekking tot optische dikte en/of r i te onderzoeken, en een methode voor de totale interne bezinningsspectroscopie worden ook onthuld.
