Use of multifunctional si-based oligomer/polymer for the surface modification of nanoporous silica films

   
   

A process for treating a silica film on a substrate, which includes reacting a suitable silica film with an effective amount of a surface modification agent, wherein the silica film is present on a substrate. The reaction is conducted under suitable conditions and for a period of time sufficient for the surface modification agent to form a hydrophobic coating on the film. The surface modification agent includes at least one type of oligomer or polymer reactive with silanols on the silica film. Dielectric films and integrated circuits including such films are also disclosed.

Un processus pour traiter un film de silice sur un substrat, qui inclut réagir un film approprié de silice avec une quantité efficace d'un agent extérieur de modification, où le film de silice est présent sur un substrat. La réaction est conduite dans des conditions appropriées et pendant une période suffisante pour que l'agent extérieur de modification pour former un enduit hydrophobe sur le film. L'agent extérieur de modification inclut au moins un type de l'oligomère ou de polymère réactif avec des silanols sur le film de silice. Des films et les circuits intégrés diélectriques comprenant de tels films sont également révélés.

 
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