A substrate transport container having a carrier box including a container
body and a door hermetically sealably covering an opening provided in the
front of the container body. Partitions form a circulating flow path in
the carrier box. The circulating flow path has a flow path in which air
flows toward substrates and a flow path in which air flows toward a fan. A
substrate carrying section is disposed in the flow path in which air flows
toward the substrates to carry the substrates in such a way that the
principal surfaces of the substrates are approximately parallel to the
flow path in which air flows toward the substrates. A particle removing
filter and a gaseous impurity trapping filter are placed on the upstream
side of the substrate carrying section in the flow path in which air flows
toward the substrates. A fan motor for driving the fan is incorporated in
the carrier box to form an air current for circulating through the
circulating flow path.
Ein Substrattransportbehälter, der einen Fördermaschinekasten einschließlich einen Behälterkörper und eine Tür eine Öffnung hermetisch sealably umfassend bereitgestellt in der Frontseite des Behälterkörpers hat. Fächer bilden einen verteilenden Flußweg im Fördermaschinekasten. Der verteilende Flußweg hat einen Flußweg, in dem Luftflüsse in Richtung in Richtung den Substraten und in dem zu einem Flußweg Luftflüsse in Richtung zu einem Ventilator. Ein tragender Abschnitt des Substrates wird im Flußweg abgeschaffen, in dem Luftflüsse in Richtung zu den Substraten, zum der Substrate zu tragen, so daß die Hauptoberflächen der Substrate zum Flußweg ungefähr parallel sind, in dem Luftflüsse in Richtung zu den Substraten. Ein Partikel, der Filter entfernen und ein gasförmiger Verunreinigung Abfangenfilter werden auf die aufwärts gerichtete Seite des tragenden Abschnitts des Substrates in den Flußweg gelegt, in dem Luftflüsse in Richtung zu den Substraten. Ein Ventilatormotor für das Fahren des Ventilators wird im Fördermaschinekasten enthalten, um einen Luftzug für das Verteilen durch den verteilenden Flußweg zu bilden.
