A micro electromechanical differential actuator is comprised of a
suspension arm structure and/or a bridge structure to make a
two-degree-of-freedom and bi-directional motion. The actuator support base
can make out-of-plane or in-plane vertical and horizontal motions. The
invention is applicable in optical micro electromechanical devices such as
optical switches, variable optical attenuators, optical tunable filters,
modulators, tunable VCSEL's, grating modulators, micro displays, and RF
switches.
Micro- elektromechanische differentiële actuator wordt samengesteld van een structuur van het opschortingswapen en/of een brugstructuur om een twee-graad-van-vrijheid en een tweerichtingsmotie te maken. De actuator steunbasis kan uit-van-vlakke of in-vlakke verticale en horizontale moties maken. De uitvinding is toepasselijk in optische micro- elektromechanische apparaten zoals optische schakelaars, veranderlijke optische dempers, optische melodieuze filters, modulators, melodieuze VCSEL'S, raspende modulators, micro- vertoningen, en de schakelaars van rf.
