A gas laser oscillator comprising a laser gas pressure controller for
controlling the pressure of laser gas in laser gas chamber to be constant,
an electromagnetic valve for supplying laser gas into the laser gas
chamber from a gas bottle so that the laser gas within the laser gas
chamber is maintained constant, detection means for detecting that the
cycle period of open/close actions of the electromagnetic valve became
longer than a reference value, and an alarm display controller which
issues an alarm. In a gas laser oscillator of the present invention, even
such a micro vacuum leak that hardly ill-affects the laser output can be
detected with ease while the gas laser oscillator is in operation. This
makes it possible to apply an appropriate maintenance work beforehand on
the vacuum seal. Thus, reliable gas laser oscillators can be offered in
accordance with the present invention.
Een oscillator van de gaslaser bestaand uit een controlemechanisme van de lasergasdruk voor het controleren van de druk van lasergas in de kamer van het lasergas om constant te zijn, een elektromagnetische klep voor het leveren van lasergas in de kamer van het lasergas van een gasfles zodat het lasergas binnen de kamer van het lasergas gehandhaafde constante is, opsporingsmiddel om te ontdekken dat de cyclusperiode van open/dichte acties van de elektromagnetische klep langer werd dan een verwijzingswaarde, en een controlemechanisme van de alarmvertoning dat een alarm uitgeeft. In een oscillator van de gaslaser van de onderhavige uitvinding, zelfs kan een dergelijk micro- vacuümlek dat nauwelijks ziek-affects de laseroutput met gemak worden ontdekt terwijl de oscillator van de gaslaser in verrichting is. Dit maakt het mogelijk om het aangewezen onderhoudswerk aangaande de vacuümverbinding vooraf toe te passen. Aldus, kunnen de betrouwbare oscillatoren van de gaslaser overeenkomstig de onderhavige uitvinding worden aangeboden.
