A control circuit designed to control driving voltages applied to the
actuating electrodes of a MEMS mirror. The control circuit is interfaced
with a mirror position sensor and includes a variable gain amplifier whose
output depends on a desired mirror equilibrium angle and a current mirror
tilt angle determined by the sensor. The desired equilibrium angle can be
changed by varying a reference signal applied to the amplifier. The
control circuit can stabilize the mirror at relatively large tilt angles
and, as a result, extend the available angular range beyond the snap-down
angle. Since the number of MEMS mirrors that can be arrayed in an optical
cross-connect is a function of the available angular range, the number of
channels in a cross-connect may be substantially increased.
Un circuito de control diseñó controlar conducir los voltajes aplicados a los electrodos de actuación de un espejo de MEMS. El circuito de control se interconecta con un sensor de posición del espejo e incluye un amplificador variable del aumento que salida dependa de un ángulo deseado del equilibrio del espejo y de un ángulo actual de la inclinación del espejo determinados por el sensor. El ángulo deseado del equilibrio puede ser cambiado variando una señal de la referencia aplicada al amplificador. El circuito de control puede estabilizar el espejo a los ángulos relativamente grandes de la inclinación y, consecuentemente, prolongar la gama angular disponible más allá del encaje a presio'n-abajo el ángulo. Puesto que el número de los espejos de MEMS que se pueden poner en orden en un óptico cruz-conecta es una función de la gama angular disponible, el número de canales en un cruz-conectar puede ser aumentado substancialmente.
