The invention provides an active matrix substrate which allows the film
quality of a MIS transistor to be evaluated easily and accurately, an
electrooptical device using such an active matrix substrate, and a method
of producing such an active matrix substrate. On an active matrix
substrate, a film quality evaluation region with a size of 1 mm square is
formed at a location where neither an image display area, a scanning line
driving circuit, a data line driving circuit, nor a signal line is formed.
A semiconductor film (silicon film) for film quality evaluation is formed
in the film quality evaluation region using the same layer as a heavily
doped source/drain region of a TFT and doped with the same impurity at the
same concentration as the source/drain region. The semiconductor film for
film quality evaluation is exposed through an opening formed through
interlayer insulating films, so that it is possible to immediately start
evaluation of the film equality.
De uitvinding verstrekt een actief matrijssubstraat dat de filmkwaliteit van een MIS transistor om gemakkelijk en nauwkeurig toelaat worden geëvalueerd, een elektro-optisch apparaat gebruikend een dergelijk actief matrijssubstraat, en een methode om een dergelijk actief matrijssubstraat te produceren. Voor een actief matrijssubstraat, wordt een de evaluatiegebied van de filmkwaliteit met een grootte van 1 mmvierkant gevormd bij een plaats waar noch een gebied van de beeldvertoning, een drijfkring van de aftastenlijn, een drijfkring van de gegevenslijn, noch een signaallijn worden gevormd. Een halfgeleiderfilm (siliciumfilm) voor de evaluatie van de filmkwaliteit wordt gevormd in het de evaluatiegebied van de filmkwaliteit gebruikend de zelfde laag zoals een zwaar gesmeerd bron/afvoerkanaalgebied van een TFT en met de zelfde onzuiverheid bij de zelfde concentratie zoals het bron/afvoerkanaalgebied gesmeerd. De halfgeleiderfilm voor de evaluatie van de filmkwaliteit wordt blootgesteld door openen gevormd door tussenlaag isolerende films, zodat het mogelijk is evaluatie van de filmgelijkheid onmiddellijk om te beginnen.
