A composition includes (A) an alkali-soluble resin having Mw of 1500 to
10000, (B) a quinonediazide ester of, for example, the following formula,
and (C) a phenolic compound containing an acid-decomposable group. When a
resin film 1 .mu.m thick is prepared from the alkali-soluble resin (A),
the resin film is completely dissolved in 2.38% by weight
tetramethylammonium hydroxide aqueous solution at 23.degree. C. within ten
seconds.
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Uma composição inclui (A) uma resina alkali-soluble que têm um Mw de 1500 a 10000, (B) um ester do quinonediazide de, para o exemplo, a seguinte fórmula, e (C) um composto phenolic que contem um grupo ácido-acid-decomposable. Quando um mu.m da película 1 da resina é preparado densamente da resina alkali-soluble (a), a película da resina está dissolvida completamente em 2.38% pela solução aqueous do hydroxide do tetramethylammonium do peso em 23.degree. C. dentro de dez segundos. ## do ## STR1
