A heat sink including a substrate of insulating ceramic and, superimposed
on its upper surface, a diamond film for disposing an element thereon. The
heat sink has excellent heat radiation characteristics and is stable
during use. This heat sink is obtained by providing a substrate of ceramic
containing aluminum nitride of high thermal conductivity as a principal
component; forming on the substrate a bonding member layer, such as a
silicon film which is capable of being bonded with the substrate and a
diamond film; and forming a polycrystalline diamond film of high quality
on the bonding member layer so that the polycrystalline diamond film is
strongly bonded with the substrate via the bonding member layer interposed
therebetween in accordance with, for example, the vapor phase method.
Ένας νεροχύτης θερμότητας συμπεριλαμβανομένου ενός υποστρώματος της μόνωσης κεραμικού και, της ανώτερης επιφάνειάς του, μια ταινία διαμαντιών για να διαθέσει ένα στοιχείο επ'αυτού. Ο νεροχύτης θερμότητας έχει τα άριστα χαρακτηριστικά ακτινοβολίας θερμότητας και είναι σταθερός κατά τη διάρκεια της χρήσης. Αυτός ο νεροχύτης θερμότητας λαμβάνεται με την παροχή ενός υποστρώματος του κεραμικού περιέχοντος νιτριδίου αργιλίου της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας ως κύριο συστατικό διαμορφώνοντας στο υπόστρωμα ένα συνδέοντας στρώμα μελών, όπως μια ταινία πυριτίου που είναι σε θέση της σύνδεσης με το υπόστρωμα και μια ταινία διαμαντιών και διαμορφώνοντας μια πολυκρυσταλλική ταινία διαμαντιών της υψηλής ποιότητας στο συνδέοντας στρώμα μελών έτσι ώστε η πολυκρυσταλλική ταινία διαμαντιών συνδέεται έντονα με το υπόστρωμα μέσω του συνδέοντας στρώματος μελών που παρεμβάλλεται σύμφωνα με, παραδείγματος χάριν, τη μέθοδο φάσης ατμού.
