Flatness and thickness variation information concerning transmissive
plane-parallel test plates is obtained from a grazing incidence
interferometer modified to distinguish between superimposed interference
patterns containing both types of information. The grazing angle of the
interferometer is varied, and unique modulation frequencies of local
fringe intensities within the superimposed interference patterns are
identified. The local fringe intensities attributable to the different
interference patterns are distinguished by their respective modulation
frequencies.
De de variatieinformatie van de vlakheid en van de dikte betreffende transmissive vlak-parallelle testplaten wordt verkregen uit een weidende weerslaginterferometer die wordt gewijzigd om tussen toegevoegde interferentiepatronen onderscheid te maken die beide soorten informatie bevatten. De het weiden hoek van de interferometer is gevarieerd, en de unieke modulatiefrequenties van lokale randintensiteit binnen worden de toegevoegde interferentiepatronen geïdentificeerd. De lokale randintensiteit toe te schrijven aan de verschillende interferentiepatronen wordt onderscheiden door hun respectieve modulatiefrequenties.
