A micro pump having at least one pump member for conveying a fluid by
action of pressure includes a pump unit formed by at least one actuator
member for generating a pressure fluctuation and a fluid channel in which
the fluid flows. The actuator member provided with a cell formed by
disposing two side walls made of piezoelectric/electrostrictive elements
or antiferrodielectric elements on a connecting plate, and covering a
surface facing the connecting plate between the side walls with a cover
plate. The actuator member selectively forms the fluid channel and
generates pressure fluctuation in the fluid channel member due to
displacement of the cell caused by expansion/contraction of the side
walls. The micro pump is small and thin in size, while attaining
increasing fluid ejection amounts, and a thigh speed in response.
Una micro pompa che ha almeno un membro della pompa per il trasporto del liquido tramite l'azione di pressione include un'unità della pompa costituita almeno da un membro dell'azionatore per la generazione una fluttuazione di pressione e della scanalatura fluida in cui il liquido entra. Il membro dell'azionatore ha fornito una cellula costituita dalla disposizione delle due pareti laterali fatte degli elementi di piezoelectric/electrostrictive o degli elementi antiferrodielectric su una piastra di collegamento e la copertura rivestimenti di superficie la piastra di collegamento fra le pareti laterali di coperchio. Il membro dell'azionatore forma selettivamente la scanalatura fluida e genera la fluttuazione di pressione nel membro fluido della scanalatura dovuto spostamento della cellula causata da expansion/contraction delle pareti laterali. La micro pompa è piccola e sottile nel formato, mentre raggiunge l'espulsione fluida aumentante ammonta e una velocità della coscia nella risposta.
