A spectroscopic ellipsometer having a multiwavelength light source,
spectrometer (or wavelength-scanning monochromator and photodetector), a
polarizer and polarization analyzer, and one or more objectives in the
illumination and collection light paths, further comprises a stationary
polarization modulator that modulates the light polarization versus
wavelength. Modulator can be an optically active crystal rotating the
linear polarization plane by a different angle for each wavelength or a
non-achromatic waveplate retarder that varies the relative phase delay of
the polarization components periodically over wavelength. The measured
spectrum can be used to characterize selected features or parameters of a
sample, e.g. by comparison with one or more theoretical spectra.
Спектроскопическое ellipsometer имея источник света multiwavelength, спектрометр (или монохроматор и фотодетектор длин волны-skennirovani4), поляризатор и анализатор поляризации, и one or more задачи в курсах освещения и собрания светлых, более дальнейших состоит из неподвижного модулятора/демодулятор поляризации который модулирует светлую поляризацию против длины волны. Модулятор/демодулятор может быть оптически активно кристаллом поворачивая плоскость линейной поляризации по-разному углом для каждой длины волны или нон-axromaticeski1 ретардер waveplate меняет относительный задержк по фазе компонентов поляризации периодически над длиной волны. Измеренный спектр может быть использован для того чтобы характеризовать выбранные характеристики или параметры образца, например сравнением с one or more теоретическими спектрами.
