Wafer heating apparatus

   
   

In a ceramic heater having a plate-like body made of a ceramic, heating element in one main face of the plate like body, and an electric supply portion to be electrically connected with the heating element, it has been a problem that the temperature is uneven if bent portions are formed in heat generating patterns. The ceramic heater simultaneously satisfying the following: 0.15.ltoreq.S.ltoreq.0.85, 0.3.ltoreq.P.ltoreq.6.71.times.S.sup.2 +1.52, and 0.3.ltoreq.G.ltoreq.6.71.times.(1-S).sup.2 +1.55, in which the reference character S1 denotes the surface area of the heating element in optional 10 mm square region of the effective heat generation area having the heating element therein; the surface ratio S denotes S=S1/100 mm.sup.2, the reference character P denotes the width of the heating element: and the reference character G denotes the gap between the heating element.

In einer keramischen Heizung, die a Platte-wie der Körper gebildet wird von einem keramischem hat, mögen Heizelement in einem Hauptgesicht der Platte Körper, und ein elektrischer an das Heizelement, ist es elektrisch angeschlossen zu werden Versorgungsmaterial-Teil, ein Problem gewesen, daß die Temperatur ungleich ist, wenn verbogene Teile in der Hitze gebildet werden, die Muster erzeugt. Die keramische Heizung, die gleichzeitig das folgende erfüllt: 0.15.ltoreq.S.ltoreq.0.85, 0.3.ltoreq.P.ltoreq.6.71.times.S.sup.2 +1.52 und 0.3.ltoreq.G.ltoreq.6.71.times.(1-S).sup.2 +1.55, in dem der Bezugsbuchstabe S1 die Fläche des Heizelementes in einer wahlweise freigestellten 10 Millimeter quadratischen Region des wirkungsvollen Hitzeerzeugung Bereichs bezeichnet, der das Heizelement darin hat; das Oberflächenverhältnis S bezeichnet S=S1/100 mm.sup.2, der Bezugsbuchstabe, den P die Breite des Heizelementes bezeichnet: und der Bezugsbuchstabe G bezeichnet den Abstand zwischen dem Heizelement.

 
Web www.patentalert.com

< Semiconductor memory device and electronic instrument

< Ferroelectric memory device

> Magnetically levitated motor

> Reduced profile drive assembly for garage door operator and method of assembly

~ 00117