A vacuum transport chamber has a transport robot arrangement. A processing
arrangement has at least one processing station communicating by at least
one workpiece pass-through opening with the vacuum transport chamber. A
loadlock arrangement communicates by at least one workpiece pass-through
opening with an atmosphere outside the vacuum transport chamber and the
processing arrangement. One single loadlock and processing tower is
formed by the processing arrangement and the loadlock arrangement being
arranged vertically on upon the other.
Uma câmara do transporte a vácuo tem um arranjo do robô do transporte. Um arranjo processando tem ao menos uma estação processando comunicar-se ao menos por uma abertura do pass-through do workpiece com a câmara do transporte a vácuo. Um arranjo do loadlock comunica-se ao menos por uma abertura do pass-through do workpiece com uma atmosfera fora da câmara do transporte a vácuo e do arranjo processando. Uma única torre do loadlock e processar é dada forma pelo arranjo processando e pelo arranjo do loadlock que estão sendo arranjados verticalmente sobre em cima da outra.
