An automated semiconductor processing system has an indexer bay
perpendicularly aligned with a process bay within a clean air enclosure.
An indexer in the indexer bay provides stocking or storage for work in
progress semiconductor wafers. Process chambers are located in the process
bay. A process robot moves between the indexer bay and process bay to
carry semi-conductor wafers to and from the process chambers. The process
robot has a robot arm vertically moveable along a lift rail. Semiconductor
wafers are carried offset from the robot arm, to better avoid
contamination. The automated system is compact and requires less clean
room floor space.
Автоматизированный системы обработки полупроводника имеет залива indexer перпендикулярно выровнянного с отростчатым заливом в пределах чистого приложения воздуха. Indexer в заливе indexer обеспечивает чулок или хранение для вафель полупроводника работы in progress. Отростчатые камеры расположены в отростчатом заливе. Отростчатый робот двигает между заливом indexer и заливом процесса для того чтобы снести вафли полупроводника to and from отростчатые камеры. Отростчатый робот имеет рукоятку робота вертикальн подвижную вдоль рельса подъема. Вафли полупроводника будут смещением снесенным от рукоятки робота, более лучше избежать загрязнения. Автоматизированной системой будет компакт и требует меньше чистый площади помещения комнаты.