A radiation absorbing polymer having chemically bonded thereto a radiation
absorbing dye, which has high absorption at a predetermined wavelength
radiation, which shows good adhesion to a substrate and good thin
film-forming, which has no dependence upon resists, which is soluble in a
solvent for photoresists but becomes insoluble after being baked; a
composition for radiation absorbing coating containing this polymer, and a
radiation absorbing coating such as an anti-reflective coating formed from
this composition are disclosed. The radiation absorbing polymer comprises
a copolymer containing at least both a recurring unit composed of a
monomer containing a keto group and a divalent group (preferably a
methylene group) in its side chain and a recurring unit composed of a
monomer containing an organic chromophore bonded directly or through a
linkage group to the main chain. This radiation absorbing polymer is
dissolved in a solvent such as alcohol, aromatic hydrocarbon, ketone,
ester, etc., and the resulting solution is applied to a wafer and baked to
form a radiation absorbing coating such as an anti-reflective coating. On
this coating is coated, for example, a chemically amplified resist. This
coated substrate is then exposed to deep UV rays and is developed to form
a fine resist pattern excluding the influence of standing wave.
Ένα απορροφώντας πολυμερές σώμα ακτινοβολίας χημικά που έχει συνδέσει επιπλέον μια απορροφώντας χρωστική ουσία ακτινοβολίας, που έχει την υψηλή απορρόφηση σε μια προκαθορισμένη ακτινοβολία μήκους κύματος, η οποία παρουσιάζει την καλή προσκόλληση σε ένα υπόστρωμα και καλός λεπτός film-forming, το οποίο έχει καμία εξάρτηση επάνω δεν αντιστέκεται, το οποίο είναι διαλυτό σε έναν διαλύτη για photoresists αλλά γίνεται αδιάλυτο μετά από να ψηθεί μια σύνθεση για το απορροφώντας επίστρωμα ακτινοβολίας που περιέχει αυτό το πολυμερές σώμα, και ένα απορροφώντας επίστρωμα ακτινοβολίας όπως ένα αντι-αντανακλαστικό επίστρωμα που διαμορφώνεται από αυτήν την σύνθεση αποκαλύπτονται. Το απορροφώντας πολυμερές σώμα ακτινοβολίας περιλαμβάνει copolymer που περιέχει τουλάχιστον και μια επαναλαμβανόμενη μονάδα που αποτελούνται από ένα μονομερές που περιέχει μια keto ομάδα και μια divalent ομάδα (κατά προτίμηση μια ομάδα μεθυλενίου) στην πλευρική αλυσίδα του και μια επαναλαμβανόμενη μονάδα που συντίθεται ενός μονομερούς που περιέχει οργανικό chromophore που συνδέεται άμεσα ή μέσω μιας ομάδας συνδέσμων με την κύρια αλυσίδα. Αυτό το απορροφώντας πολυμερές σώμα ακτινοβολίας διαλύεται σε έναν διαλύτη όπως το οινόπνευμα, ο αρωματικός υδρογονάνθρακας, η κετόνη, ο εστέρας, κ.λπ., και η προκύπτουσα λύση εφαρμόζεται σε μια γκοφρέτα και ψήνεται για να διαμορφώσει ένα απορροφώντας επίστρωμα ακτινοβολίας όπως ένα αντι-αντανακλαστικό επίστρωμα. Σε αυτό το επίστρωμα είναι ντυμένο, παραδείγματος χάριν, χημικά ενισχυμένη αντιστέκεται. Αυτό το ντυμένο υπόστρωμα εκτίθεται έπειτα στις βαθιές UV ακτίνες και αναπτύσσεται για να διαμορφώσει ένα πρόστιμο αντιστέκεται στο σχέδιο αποκλείοντας την επιρροή του μόνιμου κύματος.
