System for automatically certifying the accuracy of a manufacturing machine

   
   

A combined manufacturing machine and certifying system are operable for performing a first operation of the machine, obtaining first data by quantifying the first operation of the machine using first measurement equipment of known accuracy, performing a second operation of the machine, obtaining second data by quantifying the second operation of the machine using second measurement equipment, determining the accuracy of the second measurement equipment by quantifying the difference between the first and second data, machining a first workpiece with the machine after determining the accuracy of the second accuracy measurement equipment, performing a third operation of the machine after machining the first workpiece, and obtaining third data by quantifying the third operation of the machine using the second accuracy measurement equipment.

Совмещенная изготовляя машина и аттестуя система действующие для выполнять первую деятельность машины, получающ первые данные путем квантифицировать первую деятельность машины использующ первое оборудование измерения знанной точности, выполняющ вторую деятельность машины, получающ вторые данные путем квантифицировать вторую деятельность машины использующ второе оборудование измерения, обусловливающ точность второго оборудования измерения путем квантифицировать разницу между первыми и вторыми данными, подвергая первый workpiece механической обработке с машиной после обусловливать точность второго оборудования измерения точности, выполняя третью деятельность машины после подвергать первый workpiece механической обработке, и получать третьи данные путем квантифицировать третью деятельность машины использующ второе оборудование измерения точности.

 
Web www.patentalert.com

< Electroptic device

< Rotatable counterbalanced actuator

> Ratchet one-way clutch and stator using ratchet one-way clutch

> Feedback method utilizing lithographic exposure field dimensions to predict process tool overlay settings

~ 00112