Beam as well as method and equipment for specimen fabrication

   
   

There are disclosed a method for fabricating (processing) a micro-sample used for the observation, analysis, and measurement by, for example, a transmission electron microscope (TEM), and an equipment for specimen fabrication (processing) used for carrying out the method. With the method for specimen fabrication (processing) of the present invention, a micro-sample to be separated and extracted from a specimen substrate is sandwiched and held between a plurality of branch beams formed at the tip of a beam. The beam holding the micro-sample is transferred onto a sample holder, and the micro-sample is mounted (firmly held) on the sample holder. After mounting the micro-sample on the sample holder, the beam is detached and separated from the mounted micro-sample. By adopting such a method, it is possible to fabricate a specimen for high reliability observation, analysis, and measurement entailing less contamination, in a shorter time and with efficiency.

É divulgado um método para fabricar (processar) um micro-sample usado para a observação, a análise, e a medida por, para o exemplo, um microscópio de elétron da transmissão (TEM), e um equipamento para a fabricação do espécime (processar) usada realizando o método. Com o método para a fabricação do espécime (processar) da invenção atual, um micro-sample a ser separado e extraído de uma carcaça do espécime é imprensado e prendido entre um plurality dos feixes da filial dados forma na ponta de um feixe. O feixe que prende o micro-sample é transferido em um suporte da amostra, e o micro-sample é montado (prendido firmemente) no suporte da amostra. Após ter montado o micro-sample no suporte da amostra, o feixe é destacado e separado do micro-sample montado. Adotando tal método, é possível fabricar um espécime para a observação, a análise, e a medida elevadas da confiabilidade que envolve menos contaminação, em uma estadia mais curta e com eficiência.

 
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