A method and apparatus for providing fault detection in an Advanced Process
Control (APC) framework. A first interface receives operational state data
of a processing tool related to the manufacture of a processing piece. The
state data is sent from the first interface to a fault detection unit. A
fault detection unit determines if a fault condition exists with the
processing tool based upon the state data. A predetermined action is
performed on the processing tool in response to the presence of a fault
condition. In accordance with one embodiment, the predetermined action is
to shutdown the processing tool so as to prevent further production of
faulty wafers.
Un método y un aparato para proporcionar la detección de avería en un marco avanzado del control de proceso (APC). Un primer interfaz recibe datos operacionales del estado de una herramienta de proceso relacionada con la fabricación de un pedazo de proceso. Los datos del estado se envían del primer interfaz a una unidad de la detección de avería. Una unidad de la detección de avería se determina si una condición de avería existe con la herramienta de proceso basada sobre los datos del estado. Una acción predeterminada se realiza en la herramienta de proceso en respuesta a la presencia de una condición de avería. De acuerdo con una encarnación, la acción predeterminada es a la parada la herramienta de proceso para prevenir la producción adicional de obleas culpables.
