The object of the invention is to provide high-sensitivity detection of
fine patterns on a transparent inter-layer insulative film and defects on
the same layer. Detection is performed with lower-layer patterns and
defects on the same layer defocused, thus allowing detection of just the
defects from the process that is intended for inspection. An inspection
apparatus for a specimen on which a plurality of patterns intended to have
identical shapes are arranged in a uniform manner includes: an imaging
optical system with a relationship between illumination wavelength and
objective lens numerical aperture that provides a resolution of no more
than 0.18 microns, or preferably no more than 0.13 microns; an
opto-electric converter disposed at an imaging position of the imaging
optical system; an auto-focus optical system formed with an optical path
disposed separate from the imaging optical system, with illumination
applied at an incident angle of at least 85 degrees, preferably at least
88 degrees; means for adjusting a focal position of the imaging optical
system based on a detection signal from the auto-focus optical system; and
means for processing electronic signals from the opto-electrical
converter.
O objeto da invenção é fornecer a deteção da elevado-sensibilidade de testes padrões finos em uma película insulative do inter-layer transparente e de defeitos na mesma camada. A deteção é executada com os testes padrões da baixo-camada e os defeitos no mesmo mergulham defocused, assim permitindo a deteção apenas dos defeitos do processo que é pretendido para a inspeção. Um instrumento da inspeção para um espécime em que um plurality dos testes padrões pretendidos ter formas idênticas é arranjado em uma maneira uniforme inclui: um sistema ótico da imagem latente com um relacionamento entre o wavelength da iluminação e a abertura numérica da lente objetiva que fornece uma definição de não mais de 0.18 mícron, ou o preferivelmente não mais de 0.13 mícron; um conversor opto-elétrico dispôs em uma posição da imagem latente do sistema ótico da imagem latente; um sistema ótico do auto-focus deu forma com trajeto ótico um separado disposto do sistema ótico da imagem latente, com a iluminação aplicada em um ângulo do incident ao menos de 85 graus, preferivelmente ao menos 88 graus; meios para ajustar uma posição focal do sistema ótico da imagem latente baseado em um sinal da deteção do sistema ótico do auto-focus; e meios para processar sinais eletrônicos do conversor opto-elétrico.
