Closed loop concentration control system for chemical mechanical polishing slurry

   
   

Polishing slurry is transported via piping to flow into the closed loop control system. First, the polishing slurry flows into the ultrasonic concentration detector. Original data of the polishing slurry that is determined by means of ultrasonic concentration detector is a fluid velocity at that time. This determined value can be converted into weight percent concentration at that time by memory data table. The converted data of weight percent concentration will be transmitted into program logic controller (PLC), and the data of liquid level volume in the distribution tank will be transmitted into program logic controller at present. The program logic controller will then analyze whether the quantity of oxidant is sufficient. If the quantity of oxidant does not reach the required criterion, the program logic controller will control the analog valve to transmit a supplementary quantity of oxidant into the distribution tank via the analog valve and piping.

A pasta lustrando é transportada através de conduzir ao fluxo no sistema de controle do laço closed. Primeiramente, a pasta lustrando flui no detetor ultra-sônico da concentração. Os dados originais da pasta lustrando que é determinada por meio do detetor ultra-sônico da concentração estão a uma velocidade fluida nesse tempo. Este valor determinado pode ser convertido na concentração dos por cento do peso nesse tempo pela tabela dos dados da memória. Os dados convertidos da concentração dos por cento do peso serão transmitidos no controlador da lógica do programa (PLC), e os dados do volume nivelado líquido no tanque da distribuição serão transmitidos no controlador da lógica do programa no presente. O controlador da lógica do programa analisará então se a quantidade do oxidant é suficiente. Se a quantidade do oxidant não alcançar o critério requerido, o controlador da lógica do programa controlará a válvula análoga para transmitir uma quantidade suplementar do oxidant no tanque da distribuição através da válvula e do encanamento análogos.

 
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