A system for processing residual gas that includes a chamber having at
least one baffle for increasing gas flow path, a residual gas inlet
mechanism connected to the chamber for supplying residual gas to the
chamber, at least one first gas inlet mechanism connected to the chamber
for supplying inert gas to the chamber, at least one second gas inlet
mechanism connected to the chamber for supplying a reactive gas to the
chamber, and a gas outlet mechanism for connected to the chamber for
outputting mixed gases from mixing the residual gas, inert gas and
reactive gas and non-reacted residual gas, inert gas and reactive gas.
Система для обрабатывать остаточный газ вклюает камеру имея по крайней мере один дефлектор для увеличивая курса подачи газа, остаточный механизм входа газа соединилась к камере для поставлять остаточный газ к камере, по крайней мере одному первому механизму входа газа соединенному к камере для поставлять инертный газ к камере, по крайней мере одному второму механизму входа газа соединенному к камере для поставлять реактивный газ к камере, и механизму выхода газа для после того как она соединена к камере для вывидить наружу смешанные газы от смешивать остаточный газ, инертный газ и реактивный газ и нон-proreagirovanny1 остаточный газ, инертный газ и реактивный газ.
