A manufacturing method for an electron-emitting source of triode structure,
including forming a cathode layer on a substrate, forming a dielectric
layer on the cathode layer, and positioning an opening in the dielectric
layer to expose the cathode layer, wherein the opening has a surrounding
region, forming a gate layer on the dielectric layer, except on the
surrounding region, forming a hydrophilic layer in the opening, forming a
hydrophobic layer on the gate layer and the surrounding region, wherein
the hydrophobic layer contacts the ends of the hydrophilic layer,
dispersing a carbon nanotube solution on the hydrophilic layer using ink
jet printing, executing a thermal process step, and removing the
hydrophobic layer. According to this method, carbon nanotubes are
deposited over a large area in the gate hole.
Un método de fabricación para una fuente electro'n-que emite de la estructura del triodo, incluyendo la formación de una capa del cátodo en un substrato, la formación de una capa dieléctrica en la capa del cátodo, y la colocación de una abertura en la capa dieléctrica para exponer la capa del cátodo, en donde la abertura tiene una región circundante, formando una capa de la puerta en la capa dieléctrica, a menos que en la región circundante, formando una capa hidrofílica en la abertura, formando una capa hidrofóbica en la capa de la puerta y la región circundante, en donde la capa hidrofóbica entra en contacto con los finales de la capa hidrofílica, dispersando una solución del nanotube del carbón en la capa hidrofílica usando la inyección de tinta que imprime, ejecutando un paso de proceso termal, y quitar la capa hidrofóbica. Según este método, los nanotubes del carbón se depositan sobre un área grande en el agujero de la puerta.
