Alignment to buried marks is carried out by using electromagnetic radiation
to induce waves in the layers covering the buried layer. The acoustic or
thermal waves cause reflectivity changes and displacements in the surface
whose position and/or time dependence reveals the true position of the
buried alignment mark. The buried alignment mark may be revealed by
mapping the thickness of covering layers in its vicinity, e.g. by
measuring the time dependence of the decay of a standing wave induced in
the covering layers or by measuring the delay time of echoes of a
travelling wave created at interfaces between different ones of the
covering layers. Alternatively, a travelling wave can be created over the
whole area of the mark so that echoes off the top and bottom of the buried
mark carry positive and negative images of the mark; these cause
reflectivity differences and displacements when they reach the surface
which can be aligned to.
De groepering aan begraven tekens wordt door elektromagnetische straling te gebruiken om golven in de lagen uitgevoerd te veroorzaken die de begraven laag behandelen. De akoestische of thermische golven veroorzaken reflectievermogenveranderingen en verplaatsingen in de oppervlakte de waarvan positie en/of tijdafhankelijkheid de ware positie van het begraven groeperingsteken openbaart. Het begraven groeperingsteken kan worden geopenbaard door de dikte in kaart te brengen van het behandelen van lagen in zijn nabijheid, b.v. door de tijdafhankelijkheid van het bederf van een bevindende golf te meten die in de behandelende lagen wordt veroorzaakt of door de vertragingstijd van echo's van een reizende golf te meten die bij interfaces tussen verschillende degenen van de behandelende lagen wordt gecreeerd. Alternatief, kan een reizende golf over het gehele gebied van het teken worden tot stand gebracht zodat de echo's van de bovenkant en de bodem van het begraven teken positieve en negatieve beelden van het teken dragen; deze veroorzaken reflectievermogenverschillen en verplaatsingen wanneer zij de oppervlakte bereiken die kan worden gericht aan.
