A dielectric barrier discharge apparatus and module for perfluorocompound
(PFC) abatement. The apparatus includes a housing, first dielectric tube
disposed in the housing, a second dielectric tube disposed in the first
dielectric tube, and at least one electrode disposed in the housing. By
this arrangement, a first cooling gas passage is formed between the
housing and the first dielectric tube, a PFC passage is formed between the
first and second dielectric tubes, and a second cooling gas passage is
formed in the second dielectric tube. When the applied voltage for the
electrodes is greater than a breakdown voltage, high energetic electrons
generated in the PFC passage can ionize or dissociate the PFC to be
removed. Meanwhile, cooling gas is introduced to the cooling gas passage
for cooling the electrodes. A dielectric barrier discharge module composed
of a plurality of dielectric barrier discharge apparatuses is provided to
promote the capacity of the treatment of PFC gases.
Diëlektrische apparaten en een module van de barrièrelossing voor perfluorocompound (PFC) vermindering. Het apparaat omvat een geschikte huisvesting, een eerste diëlektrische buis in de huisvesting, een tweede diëlektrische buis die in de eerste diëlektrische buis wordt geschikt, en minstens één elektrode die in de huisvesting wordt geschikt. Door deze regeling, wordt een eerste koelgaspassage gevormd tussen de huisvesting en de eerste diëlektrische buis, wordt een passage PFC gevormd tussen de eerste en tweede diëlektrische buizen, en een tweede koelgaspassage wordt gevormd in de tweede diëlektrische buis. Wanneer het toegepaste voltage voor de elektroden groter is dan een analysevoltage, kunnen de hoge energieke elektronen die in de passage PFC worden geproduceerd te verwijderen PFC ioniseren of scheiden. Ondertussen, wordt het koelgas geïntroduceerd aan de koelgaspassage voor het koelen van de elektroden. Een diëlektrische module van de barrièrelossing die uit een meerderheid van de diëlektrische apparaten van de barrièrelossing wordt samengesteld wordt verstrekt om de capaciteit van de behandeling van gassen te bevorderen PFC.
