The disclosure relates to a radiation heat shield which is formed of
graphite which covers the open end of the crucible of a furnace for
forming single crystals of silicon by the Czochralski method. The graphite
preferably has a silicon carbide coating thereon. The heat shield is
preferably formed in plural segments with a counterweight at one end of
each of the segments whereby, upon raising of the crucible, the segments
and associated counterweight rotate about a pivot to expose the top of the
crucible.
La révélation se relie à un bouclier de chaleur de rayonnement qui est constitué du graphite qui couvre l'extrémité ouverte du creuset d'un four pour former les cristaux simples du silicium par la méthode de Czochralski. Le graphite a de préférence un carbure de silicium enduire là-dessus. Le bouclier de chaleur est de préférence formé dans des segments pluriels avec un contrepoids à une fin de chacun des segments par lequel, en augmentant du creuset, les segments et le contrepoids associé tournent autour d'un pivot jusqu à l'exposition le dessus du creuset.
