A laser apparatus has a function to easily select a component having a
wavelength near to an oscillated wavelength of a laser beam from among
components of a reference beam having a spectral distribution, which is
already known, as a reference in measurement of the oscillated wavelength
of the laser beam. The laser apparatus has a laser oscillator for
outputting a laser beam, a reference light source for outputting a
reference beam having a spectral distribution which is already known, two
spectrum separation units having different resolving power, a detecting
device for detecting a part of the laser beam and a part of the reference
beam separated by the two spectrum separation units, and a control unit
for measuring an oscillated wavelength of the detected laser beam by using
as a reference a component selected from among components of the detected
reference beam and having a wavelength near to the oscillated wavelength
of the detected laser beam. According to the laser apparatus, the
component having the wavelength near to the oscillated wavelength of the
laser beam can be easily selected from among the components of the
reference beam as a reference in measurement of the wavelength of the
laser beam.
Um instrumento do laser tem uma função para selecionar fàcilmente próximo um componente que tem um wavelength a um wavelength oscilado de um feixe de laser entre dos componentes de um feixe da referência que tem uma distribuição spectral, que seja sabida já, como uma referência na medida do wavelength oscilado do feixe de laser. O instrumento do laser tem um oscilador do laser para outputting um feixe de laser, uma fonte clara da referência para outputting um feixe da referência que tem uma distribuição spectral que seja sabida já, duas unidades da separação do spectrum que têm o poder resolvendo diferente, um dispositivo detectando para detectar uma parte do feixe de laser e uma parte do feixe da referência separado pelas duas unidades da separação do spectrum, e uma unidade de controle para medir um wavelength oscilado do feixe de laser detectado usando-se como uma referência que um componente selecionou entre dos componentes do feixe detectado e de ter da referência um wavelength próximo ao wavelength oscilado do feixe de laser detectado. De acordo com o instrumento do laser, o componente que tem o wavelength próximo ao wavelength oscilado do feixe de laser pode fàcilmente ser selecionado entre dos componentes do feixe da referência como uma referência na medida do wavelength do feixe de laser.