A micro-optical-electrical-mechanical laser scanner is configured from a silicon-on-insulator substrate having a silicon substrate layer, a buried oxide layer, and a single crystal silicon device layer. A first device layer portion having a micro-mirror fabricated therefrom. A laser is connected to a second device layer portion, and a hinge connects the first device layer portion and the second device layer portion. The hinge is formed with a bimorph material, wherein the bimorph material creates built-in stresses in the hinge. The bimorph hinge moves the released micro-mirror out of the horizontal plane to a position for either directly or indirectly reflecting laser light emitted from the laser.

Микро--оптически-электрическ-mexaniceski блок развертки лазера установлен от субстрата кремни-на-izol4tora имея слой субстрата кремния, похороненный слой окиси, и слой приспособления кремния одиночного кристалла. Первая часть слоя приспособления имея микро--zerkalo изготовила therefrom. Лазер соединен к второй части слоя приспособления, и шарнир соединяет первую часть слоя приспособления и вторую часть слоя приспособления. Шарнир сформирован с материалом bimorph, при котором материал bimorph создает built-in усилия в шарнире. Шарнир bimorph двигает выпущенное микро--zerkalo из горизонтальной плоскости к положению для или сразу или косвенно отражая испущенный свет лазера от лазера.