A method of fabricating a ferroelectric capacitor comprises the steps of forming an upper electrode on a ferroelectric film formed on a lower electrode by a sputtering process of a conductive oxide film, wherein the sputtering process is conducted by using a metal target under a first, oxidizing condition and a second, less oxidizing condition.

Une méthode de fabriquer un condensateur ferroelectric comporte les étapes de former une électrode supérieure sur un film ferroelectric formé sur une électrode inférieure par un processus de pulvérisation d'un film conducteur d'oxyde, où le processus de pulvérisation est conduit en employant une cible en métal sous une première, condition d'oxydation et une seconde, oxydant moins la condition.