The crosstalk characteristics of an arrayed waveguide grating or the like are improved. One or more of substrates are placed at a circumferential position centering the table rotational center C on a turntable that rotates at a constant angular speed of rotation .omega. and the turntable is rotated. A burner is moved to and fro in the radial direction of the turntable between positions r.sub.1 and r.sub.2 in the radial direction of the turntable and is reciprocated across the substrates. A material gas of glass, an oxygen gas and a hydrogen gas are passed through the burner to generate a hydrolysis reaction of the material gas in a hydrogen oxygen flame and an under cladding glass particle, a core glass particle and an over cladding particle are sequentially deposited on the substrates to form an optical waveguide part. The rotation velocity r.sub.1.omega. of the turntable at the position r.sub.1 is set 600 mm/sec or above at least in the step of depositing the core glass particle among the steps of depositing the under cladding glass particle, the core glass particle and the over cladding particle.

Die Übersprecheneigenschaften einer gekleideten Wellenleitervergitterung oder dergleichen werden verbessert. Man oder mehr von Substraten werden in einer Umfangsposition gesetzt, welche die Tabelle Rotationsmitte C auf einer Drehscheibe zentriert, die mit einer konstanten eckigen Geschwindigkeit von Umdrehung omega. sich dreht und die Drehscheibe gedreht wird. Ein Brenner wird hin und her in die Radialrichtung der Drehscheibe zwischen Positionen r.sub.1 und r.sub.2 in der Radialrichtung der Drehscheibe verschoben und wird über den Substraten ausgetauscht. Ein materielles Gas des Glases, ein Sauerstoffgas und ein Wasserstoffgas werden durch den Brenner geführt, um eine Hydrolysereaktion des materiellen Gases in einer Wasserstoffsauerstoffflamme zu erzeugen und ein Untermantelglaspartikel, ein Kernglaspartikel und ein Überumhüllungpartikel werden der Reihe nach auf den Substraten niedergelegt, um optisches Wellenleiter Teil darzustellen. Die Umdrehung Geschwindigkeit r.sub.1.omega. von der Drehscheibe in der Position wird r.sub.1 600 mm/sec oder oben mindestens in den Schritt des Niederlegens des Kernglaspartikels unter den Schritten des Niederlegens des Untermantelglaspartikels, des Kernglaspartikels und des Überumhüllungpartikels eingestellt.