The present invention relates to optical MEMS components, and in
particular, to a micromechanical optical switch. A removable layer is used
during fabrication to define the gap between optical waveguides and a
moveable element in the form of a mirror that is moved between states.
This provides a high speed, low-power optical switch that is readily
manufacturable.
Присытствыющий вымысел относит к оптически компонентам MEMS, и в частности, к micromechanical оптически переключателю. Съемный слой использован во время изготовления для того чтобы определить зазор между оптически волноводами и подвижным элементом in the form of зеркало двинуто между положениями. Это обеспечивает высокоскоростной, малоэнергичный оптически переключатель который готово manufacturable.