The present invention uses a transportation robot furnished with a storage chamber 3 that can store substrate wafers S under an inert gas atmosphere, and when transporting substrate wafers S between transportation chambers 2 installed on processing apparatus 1 and holding an inert gas atmosphere, connection chamber 4 is disposed between storage chamber 3 and transportation chamber 2 when placing and removing substrate wafers S between storage chamber 3 of transportation robot 30 and the transportation chamber 2 of processing apparatus 1, and after introducing inert gas into the connection chamber 4 at low pressure, opening the gate valves GV1 and GV2 between storage chamber 3 and transportation chamber 2.

Присытствыющий вымысел использует робот перевозки обеспеченный с камерой 3 хранения может хранить вафли с субстрата под атмосферой инертного газа, и когда транспортировать вафли с субстрата между камерами 2 перевозки установил на обрабатывать прибор 1 и держащ атмосферу инертного газа, камера 4 соединения размещана между камерой 3 хранения и камерой 2 перевозки устанавливая и извлекающ вафли с субстрата между камерой 3 хранения из робота 30 перевозки и камерой 2 перевозки обрабатывать прибор 1, и после вводить инертный газ в камеру 4 соединения на низком давлении, раскрывающ запорные клапаны GV1 и GV2 между камерой 3 хранения и камерой 2 перевозки.