An apparatus for characterizing multilayer samples is disclosed. An
intensity modulated pump beam is focused onto the sample surface to
periodically excite the sample. A probe beam is focused onto the sample
surface within the periodically excited area. The power of the reflected
probe beam is measured by a photodetector. The output of the photodetector
is filtered and processed to derive the modulated optical reflectivity of
the sample. Measurements are taken at a plurality of pump beam modulation
frequencies. In addition, measurements are taken as the lateral separation
between the pump and probe beam spots on the sample surface is varied. The
measurements at multiple modulation frequencies and at different lateral
beam spot spacings are used to help characterize complex multilayer
samples. In the preferred embodiment, a spectrometer is also included to
provide additional data for characterizing the sample.
Un apparecchio per caratterizzare i campioni a più strati è rilevato. Un fascio della pompa modulato intensità è messo a fuoco sulla superficie del campione per eccitare periodicamente il campione. Un fascio della sonda è messo a fuoco sulla superficie del campione all'interno della zona periodicamente eccitata. L'alimentazione del fascio riflesso della sonda è misurata da un rivelatore fotoelettrico. L'uscita del rivelatore fotoelettrico è filtrata e proceduta per derivare la riflettività ottica modulata del campione. Le misure sono prese ad una pluralità di frequenze di modulazione del fascio della pompa. In più, le misure sono prese mentre la separazione laterale fra la pompa ed i punti del fascio della sonda sulla superficie del campione è variata. Le misure alle frequenze multiple di modulazione ed ai giochi laterali differenti del punto del fascio sono usate per contribuire a caratterizzare i campioni a più strati complessi. Nel metodo di realizzazione preferito, uno spettrometro inoltre è incluso per fornire i dati supplementari per caratterizzare il campione.
