There is provided a monolithic three dimensional array of charge storage
devices which includes a plurality of device levels, wherein at least one
surface between two successive device levels is planarized by chemical
mechanical polishing.
Παρέχεται μια μονολιθική διαστατική σειρά τρία συσκευών αποθήκευσης δαπανών που περιλαμβάνει μια πολλαπλότητα των επιπέδων συσκευών, όπου τουλάχιστον μια επιφάνεια μεταξύ δύο διαδοχικών επιπέδων συσκευών είναι με τη χημική μηχανική στίλβωση.
