A decoupling capacitor is provided for a semiconductor device and may
include a first low dielectric insulator layer and a low resistance
conductor formed into at least two interdigitized patterns on the surface
of the first low dielectric insulator in a single interconnect plane. A
high dielectric constant material may be provided between the two
patterns. A circuit for testing a plurality of these capacitors is also
provided which includes a charge monitoring circuit, a coupling circuit
and a control circuit.
Ein entkoppelnder Kondensator wird für ein Halbleiterelement zur Verfügung gestellt und kann eine erste niedrige dielektrische Isolierung Schicht einschließen und ein niedriger Widerstand Leiter, der in zwei mindestens gebildet wurde, interdigitized Muster auf der Oberfläche der ersten niedrigen dielektrischen Isolierung in einer einzelnen Verknüpfung Fläche. Ein hohes Dielektrizitätskonstantematerial kann zwischen den zwei Mustern zur Verfügung gestellt werden. Ein Stromkreis für die Prüfung einer Mehrzahl dieser Kondensatoren wird auch zur Verfügung gestellt, welches eine Aufladung Überwachungsschaltung, einen Koppelung Stromkreis und einen Steuerstromkreis einschließt.
