An apparatus and method for handling microelectronic workpieces initially
positioned in a container. The container can be changeable from a first
configuration where the microelectronic workpiece is generally
inaccessible within the container to a second configuration where the
microelectronic workpiece is accessible for removal from the container.
The apparatus can include a container access device positionable proximate
to an aperture of an enclosure that at least partially encloses a region
for handling a microelectronic workpiece. The container access device can
be movably positioned proximate to the aperture to change the
configuration of the container from the first configuration to the second
configuration. A container support can be positioned proximate to the
aperture and can be configured to move the container to a fixed,
stationary position relative to the aperture when the container is in the
second configuration. Accordingly, the microelectronic workpieces within
the container can be less likely to be damaged by movement of the
container. Instead, a workpiece transfer device can be configured to have
a range of travel that allows it to access each of the microelectronic
workpieces within the container without requiring that the container
itself be moved. A workpiece detector coupled to the container access
device can move generally parallel to the microelectronic workpieces to
detect a presence, absence, and/or position of the microelectronic
workpieces, without moving laterally toward and away from the
microelectronic workpieces.
Un aparato y un método para manejar los objetos microelectrónicos colocados inicialmente en un envase. El envase puede ser cambiable de una primera configuración donde está generalmente inaccesible el objeto microelectrónico dentro del envase a una segunda configuración donde está accesible el objeto microelectrónico para el retiro del envase. El aparato puede incluir un próximo positionable del dispositivo del acceso del envase a una abertura de un recinto que incluya por lo menos parcialmente una región para manejar un objeto microelectrónico. El dispositivo del acceso del envase puede ser próximo movible colocado a la abertura para cambiar la configuración del envase de la primera configuración a la segunda configuración. Una ayuda del envase puede ser próxima colocado a la abertura y se puede configurar para mover el envase a una posición fija, inmóvil concerniente a la abertura cuando el envase está en la segunda configuración. Por consiguiente, los objetos microelectrónicos dentro del envase pueden ser menos probables ser dañado por el movimiento del envase. En lugar, un dispositivo de la transferencia del objeto se puede configurar para tener una gama del recorrido que permite que tenga acceso a cada uno de los objetos microelectrónicos dentro del envase sin requerir que el envase sí mismo esté movido. Un detector del objeto juntado al dispositivo del acceso del envase puede moverse generalmente paralelo a los objetos microelectrónicos para detectar una presencia, una ausencia, y/o una posición de los objetos microelectrónicos, sin la mudanza lateralmente hacia y lejos desde los objetos microelectrónicos.
