Method and apparatus for producing an optically effective system of layers on both sides of a substrate

   
   

A method and apparatus for producing an optically effective system of layers on a substrate, such as a lens for use in an optical device. A plasma supported sputter deposition process is employed which, for the purpose of reducing damage to the rear side (1b) first applies a protective layer (2) to the rear side and then applies a system of layers (3) on the front side (1a) of the substrate (1). The apparatus includes an evacuable sputter chamber and a substrate holder (5) with receiving elements (6) for the substrates, and the receiving elements are mounted to permit rotation about two mutually perpendicular axes.

Μια μέθοδος και μια συσκευή για ένα οπτικά αποτελεσματικό σύστημα των στρωμάτων σε ένα υπόστρωμα, όπως ένας φακός για τη χρήση σε μια οπτική συσκευή. Ένα πλάσμα που υποστηρίζεται ψεκάζει τη διαδικασία απόθεσης υιοθετείται που, με σκοπό τη μείωση της ζημίας στην οπίσθια πλευρά (1b) αρχικά εφαρμόζει ένα προστατευτικό στρώμα (2) στην οπίσθια πλευρά και εφαρμόζει έπειτα ένα σύστημα των στρωμάτων (3) στην μπροστινή πλευρά (1a) του υποστρώματος (1). Η συσκευή περιλαμβάνει έναν εκκενώσιμο ψεκάζει την αίθουσα και έναν κάτοχο υποστρωμάτων (5) με τη λήψη των στοιχείων (6) για τα υποστρώματα, και τα λαμβάνοντα στοιχεία τοποθετούνται για να επιτρέψουν την περιστροφή για δύο αμοιβαία κάθετους άξονες.

 
Web www.patentalert.com

< Method and system for performing swept-wavelength measurements within an optical system incorporating a reference resonator

< Drive circuit for a MEMS device

> Methods and apparatuses for trench depth detection and control

> Optical transceiver module and optical communications system using the same

~ 00174