Disclosed are a fixing device and method of fixing substrate to provide
holding means capable of surely fixing and positioning a sheet-like
substrate even in vacuum, and to provide an operational mechanism thereof.
A fixing device includes: a carrier plate for setting a glass substrate
thereon; a claw for pressing the glass substrate set on the carrier plate,
when the glass substrate is set thereon, by sandwiching the glass
substrate from the periphery thereof; and an airbag having air sealed
therein and expanding by lowering an external pressure. The claw is
operated by using expansion of the airbag as power, thereby fixing the
glass substrate.
Se divulgan un dispositivo y un método que fijan de fijar el substrato para proporcionar llevar a cabo medios capaces seguramente de fijar y de colocar a hoja-como el substrato incluso en vacío, y para proporcionar un mecanismo operacional de eso. Un dispositivo que fija incluye: una placa portadora para fijar un substrato de cristal sobre eso; una garra para presionar el substrato de cristal fijó en la placa portadora, cuando el substrato de cristal se fija sobre eso, intercalando el substrato de cristal de la periferia de eso; y una bolsa de aire que hace aire sellar en esto y que se amplía bajando una presión externa. La garra es funcionada usando la extensión de la bolsa de aire como energía, de tal modo fijando el substrato de cristal.
