A method of scheduling one or more maintenance actions in at least a part
of a substrate processing system is provided. According to an embodiment,
the method includes determining a gap in the flow of substrates in a part
of the substrate processing system and scheduling one or more maintenance
actions to be performed in another part of the substrate processing during
a period associated with the gap. An increase of productivity of substrate
processing can be achieved through a reduction in downtime in a substrate
processing system by appropriate scheduling of maintenance actions.
Μια μέθοδος μια ή περισσότερες ενέργειες συντήρησης τουλάχιστον σε ένα μέρος ενός συστήματος επεξεργασίας υποστρωμάτων παρέχεται. Σύμφωνα με μια ενσωμάτωση, η μέθοδος περιλαμβάνει τον καθορισμό ενός χάσματος στη ροή των υποστρωμάτων σε ένα μέρος του συστήματος επεξεργασίας υποστρωμάτων και το σχεδιασμό μιας ή περισσότερων ενεργειών συντήρησης για να εκτελεσθεί σε ένα άλλο μέρος της επεξεργασίας υποστρωμάτων κατά τη διάρκεια μιας περιόδου που συνδέεται με το χάσμα. Μια αύξηση της παραγωγικότητας της επεξεργασίας υποστρωμάτων μπορεί να επιτευχθεί μέσω μιας μείωσης του χρόνου διακοπής σε ένα σύστημα επεξεργασίας υποστρωμάτων με τον κατάλληλο σχεδιασμό των ενεργειών συντήρησης.
