Optical apparatus, optical apparatus adjustment method, and storage medium recorded with a processing program that executes said adjustment method

   
   

An optical apparatus has an adjustment apparatus 5 and an optical unit 1 including a plurality of optical elements. The adjustment apparatus sequentially provides control signals that, according to a probabilistic search technique, change the parameters of a stipulated plurality of optical elements among the optical elements to become parameters that cause the functions of the optical apparatus to satisfy stipulated specifications. A method of adjusting the optical apparatus includes sequentially providing control signals that, according to a probabilistic search technique, change the parameters of the stipulated plurality of optical elements among the optical elements, and searching for optical values at which the functions of the optical apparatus the stipulated specification.

Een optisch apparaat heeft een aanpassingsapparaat 5 en een optische eenheid 1 met inbegrip van een meerderheid van optische elementen. Het aanpassingsapparaat verstrekt opeenvolgend controlesignalen die, volgens een probabilistic onderzoekstechniek, de parameters van een bepaalde meerderheid van optische elementen onder de optische elementen om parameters veranderen te worden die de functies van de optische apparaten veroorzaken om aan bepaalde specificaties te voldoen. Een methode om de optische apparaten aan te passen omvat opeenvolgend het verstrekken van controlesignalen die, volgens een probabilistic onderzoekstechniek, de parameters van de bepaalde meerderheid van optische elementen onder de optische elementen veranderen, en het zoeken naar optische waarden waarbij de functies van de optische apparaten de bepaalde specificatie.

 
Web www.patentalert.com

< Signal processing circuit substrate used for liquid crystal display unit and method of assembling the same

< Projection lens and microlithographic projection exposure apparatus

> Master information carrier for magnetic transfer

> Layered product and capacitor

~ 00173