A method of evaluating a stepper process affected by lens aberration is
provided. The method includes receiving, from a facilitator responding to
a request, a set of optical models including lens aberration information,
wherein the lens aberration information is difficult to extract from the
optical models. A decision can be made using the set of optical models.
The decision could include determining which stepper(s) can be used (or
should be avoided) with a mask, a layout, a process, and/or a chemistry.
The decision could include ranking a plurality of steppers based on mask
data to determine the best stepper (or next best steppers) to use.
Een methode om een stepper proces te evalueren dat door lensaberratie wordt beïnvloed wordt verstrekt. De methode omvat het ontvangen van, van facilitator die aan een verzoek gevolg geeft, een reeks optische modellen met inbegrip van de informatie van de lensaberratie, waarin de informatie van de lensaberratie moeilijk om uit de optische modellen is te halen. Een besluit kan gebruikend de reeks optische modellen worden genomen. Het besluit kon omvatten het bepalen van welke stepper (s) (of zou moeten worden vermeden) met een masker, een lay-out, een proces, en/of een chemie kan worden gebruikt. Het besluit kon het rangschikken van een meerderheid van steppers omvatten die op maskergegevens wordt gebaseerd beste stepper (of daarna beste steppers) aan gebruik te bepalen.
