Self-aligned trench MOS junction field-effect transistor for high-frequency applications

   
   

A trench JFET includes sidewall oxide spacers at the top of the gate trench and oxide spacers at the bottom of the trench. The source terminal is located at the top surface of the chip and the drain is located at the bottom surface of the chip. The gate may include doped polysilicon, a Schottky metal, or a combination thereof. The sidewall spacers and the top of the trench increase the packing density of the device, and the spacers at the bottom of the trench reduce the gate-to-drain capacitance and prevent dopant from the gate from spreading downward towards the drain. This allows the epitaxial layer to be very thin. The JFET can be operated at high frequency and requires a very low gate drive. It is well suited, therefore, for use in a switch-mode DC--DC converter.

Een geul JFET omvat de verbindingsstukken van het zijwandoxyde bij de bovenkant van de van het poortgeul en oxyde verbindingsstukken bij de bodem van de geul. De bronterminal wordt gevestigd aan de hoogste oppervlakte van de spaander en het afvoerkanaal wordt gevestigd aan de bodem van de spaander. De poort kan gesmeerde polysilicon, een metaal Schottky, of een combinatie daarvan omvatten. De zijwandverbindingsstukken en de bovenkant van de geul verhogen de verpakkingsdichtheid van het apparaat, en de verbindingsstukken bij de bodem van de geul verminderen de poort-aan-afvoerkanaal capacitieve weerstand en verhinderen additief de poort het uitspreiden naar beneden naar het afvoerkanaal. Dit staat zeer dun de epitaxial laag toe om te zijn. JFET kan bij hoge frequentie worden in werking gesteld en vereist een zeer lage poortaandrijving. Het is goed geschikt, daarom, voor gebruik op een schakelaar-wijze DC -- de convertor van DC.

 
Web www.patentalert.com

< Performance evaluation method for plasma processing apparatus for continuously maintaining a desired performance level

< Bond program verification system

> MOS transistor and method for fabricating the same

> Low volt/high volt transistor

~ 00172