Glass frit wafer bonding process and packages formed thereby

   
   

A method of glass frit bonding wafers to form a package, in which the width of the glass bond line between the wafers is minimized to reduce package size. The method entails the use of a glass frit material containing a particulate filler material that establishes the stand-off distance between wafers, instead of relying on discrete structural features on one of the wafers dedicated to this function. In addition, the amount of glass frit material used to form the glass bond line between wafers is reduced to such levels as to reduce the width of the glass bond line, allowing the overall size of the package to be minimized. To accommodate the variability associated with screening processes when low volume lines of paste are printed, the invention further entails the use of storage regions defined by walls adjacent the glass bond line to accommodate excess glass frit material without significantly increasing the width of the bond line. The storage regions also ensure adequate flow of glass frit material around electrical runners that cross the glass bond line, as well as into any isolation trenches surrounding the runners.

Метод стеклянных вафель bonding фритты для того чтобы сформировать пакет, в который уменьшиты, что уменьшает ширина линии скрепления стекла между вафлями размер пакета. Метод повлечет пользу стеклянного материала фритты содержа частичный материал заполнителя устанавливает расстояние stand-off между вафлями, вместо полагаться на дискретных структурно характеристиках на одной из вафель предназначенных к этой функции. In addition, количество стеклянного материала фритты использовало сформировать стеклянную bond линию между вафлями уменьшено к таким уровням о уменьшает ширину линии скрепления стекла, позволяющ общий размер пакета быть уменьшитым. Для того чтобы приспособить изменчивость связал с процессами скрининга когда линии малого объема затира будут напечатаны, вымысел более добавочно повлечет пользу зон хранения определенных стенами смежными линия скрепления стекла для того чтобы приспособить сверхнормальный стеклянный материал фритты без значительно увеличивать ширину bond линии. Зоны хранения также обеспечивают подходящюю подачу стеклянного материала фритты вокруг электрических бегунков пересекают линию скрепления стекла, также,как в все шанцы изоляции окружая бегунков.

 
Web www.patentalert.com

< Electrode structure and method for fabricating the same

< Split barrier layer including nitrogen-containing portion and oxygen-containing portion

> Thin magnetron structures for plasma generation in ion implantation systems

> Method of selectively aligning and positioning nanometer-scale components using AC fields

~ 00172