A semiconductor processing system for wafers or other semiconductor
articles. The system uses an interface section at an end of the machine
accessible from the clean room. A plurality of processing stations are
arranged away from the clean room interface. A transfer subsystem removes
wafers from supporting carriers, and positions both the wafers and
carriers onto a carrousel which is used as an inventory storage. Wafers
are shuttled between the inventory and processing stations by a robotic
conveyor which is oriented to move toward and away from the interface end.
The system processes the wafers without wafer carriers.
Un sistema di elaborazione a semiconduttore per le cialde o altri articoli a semiconduttore. Il sistema usa una sezione dell'interfaccia ad un'estremità della macchina accessibile dalla stanza pulita. Una pluralità di elaborazione delle stazioni è organizzata via dall'interfaccia della stanza pulita. Un sottosistema di trasferimento rimuove le cialde dagli elementi portanti di sostegno e posiziona sia le cialde che gli elementi portanti su un carosello che è utilizzato come immagazzinaggio di inventario. Le cialde sono mosse fra l'inventario e stazioni di elaborazione da un trasportatore robot cui è orientato verso il movimento verso e via dall'estremità dell'interfaccia. Il sistema procede le cialde senza elementi portanti della cialda.
