The present invention relates to a substrate processing apparatus useful
for plating a substrate or processing a substrate by dipping a substrate
in a processing liquid. A substrate processing apparatus of the present
invention includes: a loading/unloading area for carrying in and out a
substrate; a cleaning area for cleaning the substrate; and a plating area
for plating the substrate, wherein the loading/unloading area is provided
with a substrate transfer robot having a plurality of hands of dry-use
design, a loading port mounted with a cassette for housing substrates,
and a reversing machine of dry-use design for reversing the substrate
from face up to face down.
Η παρούσα εφεύρεση αφορά μια συσκευή επεξεργασίας υποστρωμάτων χρήσιμη για ένα υπόστρωμα ή ένα υπόστρωμα με τη βύθιση ενός υποστρώματος σε ένα υγρό επεξεργασίας. Μια συσκευή επεξεργασίας υποστρωμάτων της παρούσας εφεύρεσης περιλαμβάνει: μια περιοχή φόρτωσης/εκφόρτωσης για να φέρει μέσα και έξω ένα υπόστρωμα μια περιοχή καθαρισμού για τον καθαρισμό του υποστρώματος και μια περιοχή επένδυσης για την επίστρωση του υποστρώματος, όπου στην περιοχή φόρτωσης/εκφόρτωσης παρέχεται ένα ρομπότ μεταφοράς υποστρωμάτων που έχει μια πολλαπλότητα των χεριών του σχεδίου ξηρός-χρήσης, ενός λιμένα φόρτωσης που τοποθετούνται με μια κασέτα για τα υποστρώματα κατοικίας, και μιας μηχανής αντιστροφής του σχεδίου ξηρός-χρήσης για να αντιστρέψει το υπόστρωμα από το πρόσωπο μέχρι το πρόσωπο κάτω.
